Članovi Grupe CONAN, diplomski studenti Tomo Vukadin i Josip Jaram te doktorand Mislav Matić su u razdoblju od 2. prosinca do 16. prosinca 2023. sudjelovali na radnom posjetu u sklopu projekta GRONGER na Leibniz Institute for High Performance Microelectronics (IHP), Frankfurt na Odri, SR Njemačka. Tomo, Josip i Mislav, pod vodstvom voditelja Grupe za 2D materijale dr. sc. Mindaugasa Lukosiusa te istraživača-poslijedoktoranda dr. sc. Danielea Capiste, upoznali su se s procesom prozvodnje struktura temeljenih na grafenu u čistoj sobi (engl. cleanroom) te električnom karakterizacijom proizvedenih komponenti. U sklopu eksperimentalnog rada, studenti su uz vodstvo dr. Lukosiusa prošli kroz proces proizvodnje 200 mm wafera s elementima temeljenim na grafenu. Studenti su asistirali dr. Capisti u rezanju wafera, napuštanju oštećenja (engl. annealing) u svrhu poboljšanja kontaktnog otpora te evaporaciji različitih metala na wafere. U sklopu električne karakterizacije studenti su naučili različite metode mjerenja karakteristika tranzistora na waferima koristeći manualne i poluautomatske mjerne stanice za mjerenja na 200 mm waferima. Napravljena su mjerenja grafena i tranzistora temeljenih na grafenu radi ekstrakcije parametara poput kontaktnog otpora i otpora kanala koji trenutno predstavljaju najveću prepreku u realizaciji komponenti temeljenih na grafenu. Uz upoznavanje s eksperimentalnim radom, u sklopu posjeta razvijeno je grafičko sučelje te je unaprijeđen program za brzu analizu velike količine izmjerenih karakteristika za grafenske FET-ove, TLM strukture (od engl. transfer length method) i CBKR (od engl. cross-bridge Kelvin resistor) koje se koriste za mjerenje kontaktnog otpora.

Autor: Mislav Matić
Popis obavijesti